Giá trị mục tiêu của độ ẩm tương đối trong phòng sạch bán dẫn (FAB) là khoảng 30 đến 50%, cho phép biên độ sai số hẹp là ±1%, chẳng hạn như trong vùng quang khắc - hoặc thậm chí ít hơn trong vùng xử lý tia cực tím xa (DUV) - trong khi ở những nơi khác, biên độ sai số có thể được nới lỏng xuống ±5%.
Bởi vì độ ẩm tương đối có nhiều yếu tố có thể làm giảm hiệu suất chung của phòng sạch, bao gồm:
1. Sự phát triển của vi khuẩn;
2. Phạm vi nhiệt độ phòng thoải mái cho nhân viên;
3. Xuất hiện điện tích tĩnh điện;
4. Ăn mòn kim loại;
5. Sự ngưng tụ hơi nước;
6. Sự suy thoái của quá trình in thạch bản;
7. Sự hấp thụ nước.
Vi khuẩn và các chất gây ô nhiễm sinh học khác (nấm mốc, vi-rút, nấm, ve) có thể phát triển mạnh trong môi trường có độ ẩm tương đối trên 60%. Một số cộng đồng vi khuẩn có thể phát triển ở độ ẩm tương đối trên 30%. Công ty tin rằng độ ẩm nên được kiểm soát trong phạm vi từ 40% đến 60%, điều này có thể giảm thiểu tác động của vi khuẩn và các bệnh nhiễm trùng đường hô hấp.
Độ ẩm tương đối trong khoảng từ 40% đến 60% cũng là phạm vi vừa phải đối với sự thoải mái của con người. Độ ẩm quá cao có thể khiến mọi người cảm thấy ngột ngạt, trong khi độ ẩm dưới 30% có thể khiến mọi người cảm thấy khô, nứt nẻ da, khó thở và không vui về mặt cảm xúc.
Độ ẩm cao thực sự làm giảm sự tích tụ điện tích tĩnh trên bề mặt phòng sạch – một kết quả mong muốn. Độ ẩm thấp lý tưởng cho sự tích tụ điện tích và là nguồn phóng tĩnh điện có khả năng gây hại. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 50%, điện tích tĩnh bắt đầu tiêu tan nhanh chóng, nhưng khi độ ẩm tương đối dưới 30%, chúng có thể tồn tại trong thời gian dài trên chất cách điện hoặc bề mặt không nối đất.
Độ ẩm tương đối từ 35% đến 40% có thể được coi là mức độ thỏa hiệp thỏa đáng và phòng sạch bán dẫn thường sử dụng các biện pháp kiểm soát bổ sung để hạn chế sự tích tụ của điện tích tĩnh điện.
Tốc độ của nhiều phản ứng hóa học, bao gồm cả quá trình ăn mòn, sẽ tăng lên khi độ ẩm tương đối tăng. Tất cả các bề mặt tiếp xúc với không khí xung quanh phòng sạch đều diễn ra nhanh.
Thời gian đăng: 15-03-2024