Tại Hoa Kỳ, cho đến cuối tháng 11 năm 2001, tiêu chuẩn liên bang 209E (FED-STD-209E) đã được sử dụng để xác định các yêu cầu đối với phòng sạch. Vào ngày 29 tháng 11 năm 2001, các tiêu chuẩn này được thay thế bằng việc ban hành Tiêu chuẩn ISO 14644-1. Thông thường, một phòng sạch sẽ được sử dụng...
Đọc thêm